技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)的三維移動(dòng)裝置。
背景技術(shù)
高效過(guò)濾器(High efficiency particulate air Filter，簡(jiǎn)稱HEPA)具有較高的過(guò)濾效率，可以對(duì)0.5μm以下的顆?；覊m及各種懸浮物進(jìn)行過(guò)濾，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)電子、生物醫(yī)藥以及PCB印刷等無(wú)塵凈化車間。
為了保證高效過(guò)濾器的過(guò)濾效果，高效過(guò)濾器在出廠時(shí)都需要采用高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的檢漏，其中，常見(jiàn)的高效過(guò)濾器的檢漏方法主要包括納焰法、油物法、以及DOP法等，而這些檢漏方法在實(shí)際操作過(guò)程中都需要將待檢測(cè)的高效過(guò)濾器安置于出氣平臺(tái)上，以使含有特性顆粒的氣體可以通過(guò)出氣平臺(tái)進(jìn)入高效過(guò)濾器，從而通過(guò)檢測(cè)高效過(guò)濾器上方的氣體以對(duì)高效過(guò)濾器進(jìn)行檢漏。
上述高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)的檢測(cè)過(guò)程中，通常是通過(guò)固定于機(jī)架的頂部的三維移動(dòng)裝置以帶動(dòng)氣體檢測(cè)探頭在高效過(guò)濾器的上方移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)高效過(guò)濾器上方的不同位置(即X軸、Y軸和Z軸方向)的氣體的檢測(cè)。
一般的，該三維移動(dòng)裝置分別是由與X軸、Y軸和Z軸方向?qū)?yīng)且依次聯(lián)動(dòng)的三個(gè)絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成，其中，作為最先移動(dòng)的絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)受其他兩個(gè)絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的影響，在移動(dòng)過(guò)程中易出現(xiàn)晃動(dòng)，使該三維移動(dòng)裝置無(wú)法平穩(wěn)地移動(dòng)氣體檢測(cè)探頭，從而影響檢測(cè)結(jié)果。
實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)的三維移動(dòng)裝置，可以平穩(wěn)地移動(dòng)氣體檢測(cè)探頭，從而提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
一種高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)的三維移動(dòng)裝置，包括：連接板、X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及分設(shè)于所述連接板兩端的兩個(gè)導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括直線導(dǎo)軌以及與所述直線導(dǎo)軌滑動(dòng)配合的滑塊，所述滑塊的一側(cè)設(shè)有與所述直線導(dǎo)軌卡接配合的凹口，所述滑塊的另一側(cè)以可拆卸方式固定于所述連接板上；所述X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X軸固定座、固定于所述X軸固定座上的X軸電機(jī)、與所述X軸電機(jī)的輸出軸連接的X軸絲桿；所述連接板的中部設(shè)有與所述X軸絲桿相配合的螺母，兩個(gè)所述直線導(dǎo)軌平行設(shè)置于所述X軸絲桿的兩側(cè)；所述Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括Y軸固定座、固定于所述Y軸固定座上的Y軸電機(jī)、與所述Y軸電機(jī)的輸出軸連接的Y軸絲桿以及與所述Y軸絲桿螺紋連接的Y軸滑塊，所述連接板上還設(shè)有與所述Y軸固定座連接的扣接件；所述Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)固定于所述Y軸滑塊上，所述Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端與外部的氣體檢測(cè)探頭連接。
作為優(yōu)選方案，所述直線導(dǎo)軌呈板狀，且其與所述凹口的端部相接觸的兩側(cè)面內(nèi)凹形成弧形面，所述凹口的端部被配置為與所述弧形面接觸配合的倒扣部。
作為優(yōu)選方案，所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)還包括基板以及與所述直線導(dǎo)軌的兩端分別對(duì)應(yīng)的支座，所述支座固定于所述基板上。
作為優(yōu)選方案，所述X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括兩個(gè)固定于所述X 軸固定座上且分設(shè)于所述X軸絲桿兩端的X軸絲桿支撐座。
作為優(yōu)選方案，所述Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括兩個(gè)固定于所述Y 軸固定座上且分設(shè)于所述Y軸絲桿兩端的Y軸絲桿支撐座。
作為優(yōu)選方案，所述扣接件的數(shù)量為兩個(gè)，且對(duì)稱設(shè)置于所述螺母的兩側(cè)。
作為優(yōu)選方案，所述扣接件包括相背設(shè)置的兩個(gè)彈性倒扣，所述 Y軸固定座上設(shè)有與所述彈性倒扣扣接配合的開口。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：
本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置連接板并在連接板的中部設(shè)置與X軸絲桿相配合的螺母，以便于形成絲桿螺母?jìng)鲃?dòng)副；與此同時(shí)，還在連接板的兩端設(shè)置導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，并使導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)具有與X軸絲桿平行設(shè)置的直線導(dǎo)軌，而連接板與直線導(dǎo)軌之間通過(guò)與直線導(dǎo)軌滑動(dòng)配合的滑塊連接，如此，可以對(duì)連接板的兩端形成平衡的牽引，從而避免連接板在沿X軸絲桿移動(dòng)的過(guò)程中因其懸掛有Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)而造成的晃動(dòng)，從而可以使得所述三維移動(dòng)裝置在工作時(shí)，可以平穩(wěn)地移動(dòng)氣體檢測(cè)探頭，從而提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)的三維移動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，100、三維移動(dòng)裝置；200、機(jī)架；300、出氣平臺(tái)；1、連接板；2、X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；21、X軸固定座；22、X軸電機(jī)；23、 X軸絲桿；24、X軸絲桿支撐座；3、Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；31、Y軸固定座；32、Y軸電機(jī)；33、Y軸絲桿；34、Y軸絲桿支撐座；4、Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；5、導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)；51、直線導(dǎo)軌；52、滑塊；53、基板； 54、支座；6、扣接件；61、彈性倒扣；7、螺母；8、氣體檢測(cè)探頭。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。
圖2為本實(shí)施例中高效過(guò)濾器檢測(cè)機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖，該檢測(cè)機(jī)在檢測(cè)時(shí)，通常會(huì)將待檢測(cè)的高效過(guò)濾器壓緊于出氣平臺(tái)300的上表面，而氣體檢測(cè)探頭8會(huì)通過(guò)固定于機(jī)架200的頂部的三維移動(dòng)裝置100 對(duì)所述高效過(guò)濾器的上方不同位置的氣體進(jìn)行檢測(cè)。
如圖1所示，該三維移動(dòng)裝置100包括沿X軸方向設(shè)置的X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2、沿Y軸方向設(shè)置的Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3以及沿Z 軸方向設(shè)置的Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4，其中，在移動(dòng)所述氣體檢測(cè)探頭 8到達(dá)指定位置的過(guò)程中，是依次通過(guò)所述X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2、所述Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3以及所述Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4的聯(lián)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。而所述Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4是固定于所述Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3 后一起懸掛于所述X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2上的。
具體的，所述X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2包括X軸固定座21、固定于所述X軸固定座21上的X軸電機(jī)22、與所述X軸電機(jī)22驅(qū)動(dòng)連接的X軸絲桿23；所述Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3包括Y軸固定座31、固定于所述Y軸固定座31上的Y軸電機(jī)32、與所述Y軸電機(jī)32的輸出軸連接的Y軸絲桿33以及與所述Y軸絲桿33螺紋連接的Y軸滑塊52；而所述Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4固定于所述Y軸滑塊52上，所述 Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4的輸出端與所述氣體檢測(cè)探頭8連接。
本實(shí)施例中還設(shè)有連接板1和分設(shè)于所述連接板1兩端的兩個(gè)導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5。其中，所述連接板1的中部設(shè)有與所述X軸絲桿23相配合的螺母7，以形成絲桿螺母7傳動(dòng)副，而所述Y軸固定座31通過(guò)設(shè)于所述連接板1上的扣接件6與所述連接板1固定。
每個(gè)所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5均包括直線導(dǎo)軌51以及與所述直線導(dǎo)軌51 滑動(dòng)配合的滑塊52，其中，所述滑塊52的一側(cè)設(shè)有與所述直線導(dǎo)軌 51卡接配合的凹口，所述滑塊52的另一側(cè)以可拆卸方式(例如螺紋連接方式)固定于所述連接板1上。而兩個(gè)所述直線導(dǎo)軌51平行設(shè)置于所述X軸絲桿23的兩側(cè)，以便于所述連接板1移動(dòng)的過(guò)程中對(duì)所述連接板1形成平衡的牽引力。如此，在連接板1沿X軸絲桿23 移動(dòng)的過(guò)程中可以避免因Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3和Z軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)4 而造成的晃動(dòng)，從而平穩(wěn)地移動(dòng)氣體檢測(cè)探頭8，提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
為了便于裝配所述滑塊52與所述直線導(dǎo)軌51，示例性的，可以將所述直線導(dǎo)軌51設(shè)置為板狀，且使其與所述凹口的端部相接觸的兩側(cè)面內(nèi)凹形成弧形面，而將所述凹口的端部配置為與所述弧形面接觸配合的倒扣部。
當(dāng)然，還可以在所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5中增設(shè)基板53以及與所述直線導(dǎo)軌51的兩端分別對(duì)應(yīng)的支座54，并將所述支座54固定于所述基板53上，以保證所述直線導(dǎo)軌51的穩(wěn)定性。而所述X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2可以兩個(gè)固定于所述X軸固定座21上且分設(shè)于所述X軸絲桿 23兩端的X軸絲桿支撐座24。所述Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3中可以增設(shè)兩個(gè)固定于所述Y軸固定座31上且分設(shè)于所述Y軸絲桿33兩端的 Y軸絲桿支撐座34。
為了降低Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3在X軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2移動(dòng)過(guò)程中其本身的晃動(dòng)，示例性的，還可以將所述扣接件6的數(shù)量設(shè)置為兩個(gè)，且將其對(duì)稱設(shè)置于所述螺母7的兩側(cè)，以將所述Y軸固定座31 穩(wěn)定地固定于所述連接板1上。而所述Y軸固定座31與所述連接板 1之間可以通過(guò)扣接的方式裝配，例如，可以使所述扣接件6具有相背設(shè)置的兩個(gè)彈性倒扣61，而所述Y軸固定座31上設(shè)有與所述彈性倒扣61扣接配合的開口，從而便于所述Y軸絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3與所述連接板1之間的裝拆維護(hù)。
以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。